半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度準(zhǔn)確控制，產(chǎn)品有流體氟化液控溫（低-100度)、氣體冷熱快速溫變、快速溫變卡盤、低溫氣體制冷機(jī)（-120度）、直冷型制冷機(jī)組（-150度）等。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

chiller 的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進(jìn)出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行管理監(jiān)控記錄。

40℃以內(nèi)加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱。
chiller 循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì)、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動泵。
Chiller 氦檢測，安規(guī)檢測，確保系統(tǒng)安全可靠。
chiller 經(jīng)過24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)。
冷凝器 微通道換熱器（風(fēng)冷）板式換熱器（水冷）