半導體溫控裝置Chiller 主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度準確控制，產品有流體氟化液控溫（低-100度)、氣體冷熱快速溫變、快速溫變卡盤、低溫氣體制冷機（-120度）、直冷型制冷機組（-150度）等。公司在系統中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現系統快速響應、較高的控制精度。

chiller 的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統進行管理監控記錄。

40℃以內加熱方式采用壓縮機熱氣加熱。
chiller 循環系統采用全密閉設計、循環泵采用磁力驅動泵。
Chiller 氦檢測，安規檢測，確保系統安全可靠。
chiller 經過24小時連續運行拷機。
冷凝器 微通道換熱器（風冷）板式換熱器（水冷）