不論是那種工業設備，在應用全過程上都需要開展維修保養，不然，有時會造成半導體高低溫熱流儀發生一些小問題或是是減少它的使用期限。

1、溫度范圍

選擇半導體高低溫熱流儀時，應該考慮到工廠對制取溫度的要求。制取溫度的高低對半導體高低溫熱流儀的選型和系統組成有著為重要的實際意義。

2、制冷和單機制冷量

半導體高低溫熱流儀制冷量的大小直接關系到整個機組的能量消耗和運行效果，這是值得重視的，這主要是考慮到當一臺半導體高低溫熱流儀發生故障或停機檢修時，不致停產，而應結合生產情況，選定合理的機組臺數。

3、能量消耗

特別是選用大型半導體高低溫熱流儀時，應當考慮到能量的綜合利用，因為大型半導體高低溫熱流儀時一種消耗能量較大的設備。

4、振動

半導體高低溫熱流儀運行時都會產生振動，只是頻率與振幅大小因機組類型不同相差較大。如果有防振要求時，應選用振幅較小的半導體高低溫熱流儀，或對半導體高低溫熱流儀的基礎與管道進行減振處理。

5、冷凝壓力：

冷凝壓力就是制冷劑在冷凝器內氣體冷凝成液體的壓力，由于反應釜低溫冷凍機單機自復疊系統中冷凝器內部的壓力無法測量，而實際上，制冷劑在排氣管以及冷凝器內的壓力降其實很小，所以不管設計調試還是檢修當中，一般認為排氣壓力近似等于冷凝壓力。