半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備Chiller，以技術(shù)架構(gòu)、多元的產(chǎn)品設(shè)計(jì)，為半導(dǎo)體全流程提供溫控支持，成為產(chǎn)業(yè)發(fā)展配套使用的裝備。

一、半導(dǎo)體制造對(duì)溫控的嚴(yán)苛需求

半導(dǎo)體材料的電學(xué)特性、器件的性能參數(shù)對(duì)溫度要求高。例如，晶體管的電流增益、閾值電壓，光電芯片的發(fā)光波長(zhǎng)、效率等，均需在穩(wěn)定溫度環(huán)境下測(cè)量與制造。Chiller 憑借寬溫域覆蓋、高精度控溫的技術(shù)能力，滿足半導(dǎo)體制造中光刻、刻蝕、封裝等工藝，以及器件特性測(cè)試的溫控需求，確保工藝穩(wěn)定性與數(shù)據(jù)可靠性。

二、半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備Chiller的核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1、控溫技術(shù)體系

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備Chiller構(gòu)建了多元控溫技術(shù)矩陣。針對(duì)半導(dǎo)體工藝快速溫變需求，直冷型Chiller將制冷劑直接輸入目標(biāo)元件換熱，實(shí)現(xiàn)控溫精度，適用于高密度功率器件測(cè)試。低溫復(fù)疊制冷系列通過復(fù)疊循環(huán)，超寬溫區(qū)控制，滿足苛刻低溫材料特性測(cè)試。氣體降溫控溫系列則將干燥壓縮空氣、氮?dú)獾葰怏w降溫，為氣敏元件測(cè)試提供穩(wěn)定氣源。

2、運(yùn)行設(shè)計(jì)

變頻技術(shù)是Chiller的運(yùn)行的核心。變頻泵可根據(jù)工況智能調(diào)節(jié)循環(huán)壓力與流量；變頻壓縮機(jī)與風(fēng)扇協(xié)同工作，動(dòng)態(tài)匹配制冷需求。在負(fù)載變化時(shí)，變頻系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整輸出。同時(shí)，全密閉循環(huán)系統(tǒng)設(shè)計(jì)防止低溫環(huán)境中水分混入，避免導(dǎo)熱介質(zhì)污染，保障系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

3、智能控制與互聯(lián)能力

Chiller 配備PLC可編程控制器，支持RS485、Modbus RTU、TCP/IP等通信協(xié)議，可與PC、生產(chǎn)系統(tǒng)遠(yuǎn)程互聯(lián)。7寸彩色觸摸屏實(shí)時(shí)顯示溫度曲線、運(yùn)行參數(shù)，支持EXCEL數(shù)據(jù)導(dǎo)出，便于工藝分析與質(zhì)量追溯。

四、推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)升級(jí)的核心價(jià)值

在半導(dǎo)體制造與測(cè)試中，半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備Chiller不僅是溫控設(shè)備，更是工藝優(yōu)化與創(chuàng)新的助推器。其控溫能力提升芯片制造良率，多元產(chǎn)品適配研發(fā)與生產(chǎn)需求，智能互聯(lián)特性融入工業(yè)體系。

作為半導(dǎo)體專用溫控領(lǐng)域的核心裝備，半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備Chiller憑借技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)品，始終站在產(chǎn)業(yè)發(fā)展前沿，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)的溫控保障。