芯片封裝環節需要溫度控制,這決定著芯片的性能與可靠。芯片封裝溫控裝置 Chiller,正是這一環節中守護溫度穩定的核心設備,為溫控技術為芯片封裝工藝保駕護航。
一、芯片封裝中的溫控挑戰
芯片封裝需將晶圓切割、封裝保護,過程中材料受熱應力影響。例如,封裝材料與芯片熱膨脹系數不同,溫度波動會導致應力集中,可能引發芯片裂紋或封裝失效。此外,老化測試、功能測試等環節,對溫度的長期穩定性和精度要求高。溫度失控會使老化測試結果失真,功能測試時芯片電性能受干擾,直接影響芯片良品率與可靠性。
二、Chiller 的核心工作原理
芯片封裝溫控裝置Chiller通過制冷劑循環系統實現溫控。壓縮機將氣態制冷劑壓縮為高溫高壓氣體,經風冷或水冷冷凝器液化,釋放熱量;液態制冷劑通過電子膨脹閥降壓,在蒸發器中蒸發吸熱,降低目標環境溫度。如此循環,持續調節溫度。
其全密閉循環設計尤為關鍵,采用不銹鋼管路與密封材料,杜絕水分、雜質侵入,確保導熱介質純凈。同時,雙變頻技術讓循環泵、壓縮機按需調節功率,證制冷效率,適應封裝工藝中不同階段的溫控需求。
三、Chiller 的技術優勢
1、高精度控溫,保障工藝穩定
Chiller運算PID算法與PLC,滿足芯片封裝對溫度穩定性的要求。無論是封裝過程中快速升降溫,還是測試環節長時間恒溫,都能準確應對,確保刻蝕等工藝環節的一致性。
2、安全可靠,運行有保障
設備經過氦檢測、安規檢測,且通過24小時連續運行拷機,確保安全可靠。全密閉系統避免了制冷劑泄漏風險,搭配磁力驅動泵,減少機械故障,為芯片封裝提供穩定運行環境。
3、智能通信,便捷操控
支持RS485接口Modbus RTU協議、以太網接口TCP/IP協議,可與客戶設備通信或構建系統,實現遠程控制、數據記錄與導出通過 7 英寸彩色觸摸屏,即可實時監控溫度曲線、設置參數,讓溫控管理更智能。
芯片封裝溫控裝置Chiller以溫控技術、可靠的性能,成為芯片封裝環節配套使用的設備。隨著芯片技術的發展,芯片封裝溫控裝置 Chiller也將不斷升級溫控方案。