半導體溫控裝置Chiller 主要應用與半導體生產過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度準確控制，產品有流體氟化液控溫（低-100度)、氣體冷熱快速溫變、快速溫變卡盤、低溫氣體制冷機（-120度）、直冷型制冷機組（-150度）等。公司在系統中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現系統快速響應、較高的控制精度。